微光電實驗室 ── 實驗室管理訓練：黃光考核訓練
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實驗室環境介紹
訓練表單申請流程及磁卡取得說明
儀器預約系統使用介紹
常見違規事項提醒與懲罰標準
- 職業安全衛生及化學品危害教育訓練課程
一般職業安全衛生
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認識化學藥品的危害性及處理方式
無塵室進出程序
配酸鹼溶液程序
Spinner的使用
OM的使用
無塵室注意事項
微光電實驗室 ── 實驗室管理訓練：廠務考核訓練
了解廠務應變處理知識，並為機台B級人員升等至A級人員的必備資格
微光電實驗室 ── 實驗室管理訓練：機台考核訓練
各機台資格可使用時段介紹
|
級別 |
可使用時段 |
資格取得說明 |
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A級 |
周一至周日 24小時 |
取得B級使用資格後，再通過廠務考試後即可向儀負人員提出申請考核。 |
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B級 |
周一至周五 8:00~22:00 |
完成下表之訓練次數並考核通過 |
各機台基本訓練次數
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機台名稱 |
機台訓練次數 (觀看+操作) |
機台名稱 |
機台訓練次數 (觀看+操作) |
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SAMCO PECVD(III-V) |
3+3 |
Sputter |
5+3 |
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BMR CVD |
3+3 |
ARTs-RTA |
3+3 |
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HDP |
3+3 |
LPT-RTA |
3+3 |
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Sentech ICP |
2+6 |
Furnace |
3+3 |
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RIE |
3+6 |
K-Aligner(MA6) |
3+6 |
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E-gun |
3+5 |
Q-Aligner |
3+3 |
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E-gun thermal |
4+8 |
UV-Ozone |
3+3 |
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Thermal Coater |
3+3 |
Alpha Steper |
2+6 |
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E_Beam |
6+4 |
Probe Station |
3+3 |
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SEM |
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