光罩製作機台

• 儀器中文名稱：雷射光罩製作系統
• 儀器英文名稱：Laser Direct Write Image System
• 儀器英文簡稱：Mask
• 儀器廠牌及型號：HIMT DWL66s
• 儀器購置日期：2003年12月
• 儀器功用：製作四吋和五吋玻璃光罩
• 收費標準(每十小時)：(國科會)7,100元；
  　　　　　　　　　  (非國科會)10,000元
• 服務時間：週一至週五 AM8:00~PM6:00
• 聯絡人：光電中心張毓伶小姐 (分機57910)