MBE

• 儀器中文名稱：分子束磊晶系統
• 儀器英文名稱：Molecular Beam Epitaxy
• 儀器英文簡稱：MBE
• 儀器廠牌及型號：Riber MBE 32P
• 儀器購置日期：1992/06
• 儀器功用：
• 收費標準：暫不對外開放
• 開放時間：週一至週五 AM9:00-PM5:00

MOCVD

• 儀器中文名稱：有機金屬化學氣相沉積系統
• 儀器英文名稱：Metalorganic Chemial Vapor Deposition
• 儀器英文簡稱：MOCVD
• 儀器廠牌及型號：AIX 200/4 RF
• 儀器購置日期：1996/02
• 儀器功用：氮化鎵系列材料成長
• 收費標準：暫不對外開放
• 開放時間：週一至週五 AM9:00-PM5:00

Ion Implanter

• 儀器中文名稱：有機金屬化學氣相沉積系統
• 儀器英文名稱：Metalorganic Chemial Vapor Deposition
• 儀器英文簡稱：MOCVD
• 儀器廠牌及型號：THOMAS SWAN磊晶機台含腔體等(型別3X2 GAN)
• 儀器購置日期：2006/11
• 儀器功用：氮化鎵系列材料成長
• 收費標準：暫不對外開放
• 開放時間：週一至週五 AM9:00-PM5:00