微光電實驗室 ── 實驗室介紹
實驗室規模介紹
微光電實驗室位於國立中央大學綜合教育館四樓，實驗室大體分為，無塵室內部、機房、辦公室。無塵室內部共有10000級、1000級、100級區。實驗室之設計目地為提供此計劃高度潔淨的實驗空間，以提供4吋矽晶製程技術及砷化鎵高頻元件及光電元件製程技術之開發，來完成跨越多項學科之尖端研究計畫。
廠務環安
無塵室為維持良好穩定的研究環境，對於壓力、溫濕度的變化均設有偵測器及控制系統，使無塵室內部維持於設定範圍內，溫度及壓力部份依據設定之送風壓力，自動調整以輸送恆定之風壓至潔淨室用之HEPA Filter，並將三區的回風系統獨立，以避免壓力不均造成部分區域的無法達到所要求之潔淨度。於回風區裝設偵煙器，一旦偵測有煙訊，則停止所有之送風功能，防止火災的擴大。無塵室之相關廠務設施如下圖及其壓力、溫濕度條件則如下表所示:
|
區域 |
潔淨度(級) |
溫度(oC) |
濕度(%) |
室內壓力(mmAq) |
照度(LUX) |
|
無塵室 |
100 |
22.0±1.0 |
55± 5 |
+1.5 |
500 |
|
無塵室 |
1000 |
22.0±1.0 |
55± 5 |
+1.5 |
500 |
|
無塵室 |
10000 |
22.0±1.0 |
55± 5 |
+1.5 |
500 |
|
準備室 |
N.A. |
22.0±2.0 |
55± 5 |
N.A. |
500 |
在供應本實驗室各儀器設備製程之需求設有(一)電力供應室，(二)氣體供應室，及(三)廢水、廢氣監控排放系統，(四)消防安全監控…等相關之廠務設施，以確保機台之正常運作及操作人員之安全。
(一)在電力供應部分由一10000KW之高壓電變壓站分接至有廠務設備和儀器設備之電力總盤，此部分設施如下圖所示。
(二)製程氣體之供應則主要有3000公升容量液氮槽與氣體供應室來提供，並配置有特殊氣體偵測系統進行監控及具有緊急遮斷之功能，此部分設施如下圖所示。
(三)在製程所排放之廢水一律經過稀釋後排入廢水槽，再至酸鹼中和沈澱槽及活性碳吸附。廢氣則先排放至前級廢氣處理系統，其中經過燃燒室及吸附室，處理後再至中央濕式廢氣處理系統，處理過後才排入大氣。所有製程副產物接經上述處理得以符合環保單位相關之排放標準後才進行排放，並每年定期由合格廠商做廢水、廢氣之檢測。其檢測結果如下表所示：
|
檢驗項目 |
單位 |
檢驗值(原水)91/01/15 |
檢驗值(放流水)91/01/15 |
環保署放流水標準 |
|
水溫 |
C |
22 |
21.8 |
38or35 |
|
氫離子濃度 |
Mg/L |
1.9 |
6.7 |
6~9 |
|
懸浮固體量 |
Mg/L |
1.2 |
N.D |
50 |
|
生化需氧量 |
Mg/L |
1.69 |
23.5 |
30 |
|
鋅 |
Mg/L |
0.45 |
0.06 |
5 |
|
總鉻 |
Mg/L |
N.D |
N.D |
2 |
|
總汞 |
Mg/L |
0.0005 |
0.0011 |
0.005 |
|
化學需氧量 |
Mg/L |
413 |
111 |
200 |
|
檢驗項目 |
單位 |
檢驗值(原水)92/12/17 |
檢驗值(放流水)92/12/17 |
環保署放流水標準 |
|
水溫 |
C |
22 |
21.8 |
38or35 |
|
氫離子濃度 |
Mg/L |
1.9 |
6.7 |
6~9 |
|
懸浮固體量 |
Mg/L |
1.2 |
N.D |
50 |
|
生化需氧量 |
Mg/L |
1.69 |
23.5 |
30 |
|
鋅 |
Mg/L |
0.45 |
0.06 |
5 |
|
總鉻 |
Mg/L |
N.D |
N.D |
2 |
|
總汞 |
Mg/L |
0.0005 |
0.0011 |
0.005 |
|
化學需氧量 |
Mg/L |
413 |
111 |
200 |
|
檢驗項目 |
單位 |
檢驗值(原水)93/05/25 |
檢驗值(放流水)93/05/25 |
環保署放流水標準 |
|
水溫 |
C |
26.8 |
26.8 |
35 |
|
氫離子濃度 |
Mg/L |
2.0 |
6.1 |
6~9 |
|
懸浮固體量 |
Mg/L |
2.4 |
2.6 |
50 |
|
生化需氧量 |
Mg/L |
165 |
26.5 |
30 |
|
鋅 |
Mg/L |
0.05 |
0.03 |
5 |
|
總鉻 |
Mg/L |
N.D |
N.D |
2 |
|
總汞 |
Mg/L |
0.0096 |
0.0022 |
0.005 |
|
化學需氧量 |
Mg/L |
381 |
182 |
200 |
|
檢 測 結 果(91/01/25) |
空氣汙染物名稱及檢測方法 |
排 氣 組 成 |
空氣污染物濃度值 |
濃度單位 |
污染物排放量(kg/hr) |
排放標準(kg/hr) |
||
|
CO2 |
O2 |
CO |
||||||
|
四氫化矽(PZ)OSHA&M104.00T |
0.0% |
20.5% |
0.0% |
4.78*10-3 |
g/s(MA) |
1.72*10-3 |
0.465 |
|
|
總有機氣體(PP)第1小時NIEA A433.71C |
0.0% |
20.6% |
0.0% |
4.27 |
ppm(L2) |
8.11*10-3 |
0.6 |
|
|
總有機氣體(PP)第2小時NIEA A433.71C |
0.0% |
20.6% |
0.0% |
4.28 |
ppm(L2) |
8.13*10-3 |
0.6 |
|
|
檢 測 結 果(92/12/12) |
空氣汙染物名稱及檢測方法 |
排 氣 組 成 |
空氣污染物濃度值 |
濃度單位 |
污染物排放量(kg/hr) |
排放標準(kg/hr) |
||
|
CO2 |
O2 |
CO |
||||||
|
四氫化矽(PZ)OSHA&M104.00T |
0.0% |
20.5% |
0.0% |
3.24*10-5 |
g/s(MA) |
1.17*10-4 |
0.465 |
|
|
總有機氣體(PP)第1小時NIEA A433.71C |
0.0% |
20.6% |
0.0% |
3.78 |
ppm(L2) |
4.68*10-3 |
0.6 |
|
|
總有機氣體(PP)第2小時NIEA A433.71C |
0.0% |
20.6% |
0.0% |
3.01 |
ppm(L2) |
3.72*10-3 |
0.6 |
|
(四)在消防安全監控部分則在回風區裝設偵煙器，一旦偵測有煙訊，則停止所有之送風功能，防止火災的擴大。並將其訊號連接至火警受信總機做及時之監控。另外依實驗室之空間配置規劃有逃生路線圖，緊急照明燈，二氧化碳滅火桶及緊急淋身洗眼器…等相關安全措施，如下圖所示。
