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國立中央大學光電科學研究中心
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雷射剝離機台(已停用)
LLO machine
儀器中文名稱:準分子雷射剝離機
(
已停用
)
儀器英文名稱:
KrF 248nm excimer laser lift off machine
儀器英文簡稱:
LLO machine
儀器廠牌及型號:
JPSA IX-120 Laser
儀器購置日期:
2006
年
2
月
28
日
儀器功用:
Laser lift off & Laser scribing
開放時間:週一至週五
AM9:00-PM5:00
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